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原廠HORIBA堀場 通用型數(shù)字質量流量控制器 SEC-N100系列 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 ±1.0% SP（設定點） 1秒內高速響應 全量程（T98） 尺寸緊湊， 面間距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃氣面板。 采用超潔凈兼容 氣體接觸部分，全不銹鋼結構，標準內部拋光處理。

全新HORIBA堀場 數(shù)字質量流量控制器 SEC-Z500X系列 從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制 保證高精度 ±1.0% SP（設定點） 1秒內高速響應 全量程（T98） 尺寸緊湊， 面間距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃氣面板。 采用超潔凈兼容 氣體接觸部分，全不銹鋼結構，標準內部拋光處理。